Na-eji Tungsten hexafluride (wf6)

A na-edobe hexafluoride (wf6) n'elu wafer site na usoro cvd, na-emeju eriri internetiction metal, na-akpụgharị internetiction internetction na-emepụta nke etiti.

Ka anyị kwuo banyere Plasma mbụ. Plasma bụ otu ụdị nke ejikọtara elektrọn na-akwụghị ụgwọ ma kwụọ ụgwọ. Ọ dị na mbara igwe na ụwa niile na-ahụkarị dịka ọnọdụ nke anọ. A na-akpọ ya plasma steeti, nke a na-akpọkwa "plasma". Plasma nwere ụdị njigide eletriki ma nwee mmetụta siri ike na mpaghara electromagnetic. Ọ bụ nke enized gas, mejupụtara elektrọn, e ji elektrọn, ụma, radicals, na-anọpụ iche, na enweghị ike. Plasma n'onwe ya bu ngwakọta eletrik na-anọpụ iche na-arụ ọrụ na-arụ ọrụ.

Nkọwa nke dị elu bụ na n'okpuru ihe dị elu, molekule ga-emeri ike ụgbọ ala, nkekọ kemịkal ike, ma gosipụta ụdị eletrik na-anọpụ iche. N'otu oge ahụ, ike dị elu nke ndị dị larịị meriri ndị agha atọ ahụ dị n'elu. Ọrụ, electrons na eys na-ewepụta ọnọdụ n'efu, nke nwere ike ịbụ ihe a na-eme n'okpuru ngbanwe nke ndọta, dị ka semiconductor usoro, usoro CVD, PVD na usoro PVD.

Gịnị bụ ume dị elu? Na Tiori, a ga-eji okpomọkụ dị elu ma dị elu ugboro ugboro. N'ikwu na ikwu, okpomoku di elu ka odighi ike imezu. Ọnọdụ okpomọkụ a dị oke elu ma ọ nwere ike ịdị nso okpomọkụ anyanwụ. Ọ bụ ihe na-agaghị ekwe omume imezu n'usoro. Ya mere, ụlọ ọrụ na-ejikarị RF dị elu iji nweta ya. Plasma rf nwere ike iru dị ka 13mhz +.

Tungsten hexafluoride bụ ihe na-eme ka ọ dị n'okpuru ọrụ nke ọkụ eletrik, wee tinye vepor-debere ya site na ndọta. Wumms yiri nke oge oyi na-akụ ute ma daa n'ala n'okpuru ọrụ ike ndọda. Eji nwayọ, u na-edobe n'ime oghere, ma mechaa jupụta na oghere iji mepụta usoro interning. Na mgbakwunye na itinye ụma w atọ n'ime oghere, à ga-edebe ha n'elu wafer? Ee, n'ezie. N'ikwu okwu n'ozuzu, ị nwere ike iji usoro W-cmp, nke bụ ihe anyị na-akpọ usoro ngwa ngwa iji wepu. Ọ dị ka iji aziza na-ekpochapụ ala mgbe oke snow. Snoo n'elu ala na-apụ apụ, ma snow n'ime oghere dị n'ala ga-adịgide. Ala, ihe dị ka otu.