Ojiji nke tungsten hexafluoride (WF6)

A na-etinye Tungsten hexafluoride (WF6) n'elu wafer ahụ site na usoro CVD, na-ejupụta olulu njikọ ígwè ahụ, ma na-emepụta njikọ ígwè n'etiti oyi akwa.

Ka anyị buru ụzọ kwuo maka plasma. Plasma bụ ụdị ihe mejupụtara ya bụ elektrọn efu na ion charge. Ọ dị ọtụtụ n'eluigwe na ala ma a na-ewerekarị ya dị ka ọnọdụ nke anọ nke ihe. A na-akpọ ya ọnọdụ plasma, nke a na-akpọkwa "Plasma". Plasma nwere ike eletriki dị elu ma nwee mmetụta njikọ siri ike na ubi electromagnetic. Ọ bụ gas nke nwere akụkụ ion, nke mejupụtara elektrọn, ion, free radicals, neutral particles, na photons. Plasma n'onwe ya bụ ngwakọta na-anọpụ iche na eletriki nke nwere ihe ndị na-arụ ọrụ n'anụ ahụ na nke kemịkalụ.

Nkọwa doro anya bụ na n'okpuru ọrụ nke ike dị elu, molekul ahụ ga-emeri ike van der Waals, ike njikọ kemịkalụ na ike Coulomb, ma gosipụta ụdị ọkụ eletrik na-anọpụ iche n'ozuzu ya. N'otu oge ahụ, ike dị elu nke mpụta na-enye na-emeri ike atọ dị n'elu. Ọrụ, elektrọn na ion na-eweta ọnọdụ nweere onwe ya, nke enwere ike iji ya mee ihe n'okpuru mgbanwe nke ubi magnet, dị ka usoro etching semiconductor, usoro CVD, usoro PVD na usoro IMP.

Gịnị bụ ike dị elu? N'echiche, enwere ike iji ma okpomọkụ dị elu ma RF dị elu. N'ikwu ya n'ozuzu, okpomọkụ dị elu fọrọ nke nta ka ọ ghara ikwe omume iru. Ihe achọrọ maka okpomọkụ a dị oke elu ma nwee ike ịdị nso na okpomọkụ anyanwụ. Ọ gaghị ekwe omume imezu ya n'usoro a. Ya mere, ụlọ ọrụ na-ejikarị RF dị elu eme ihe iji nweta ya. Plasma RF nwere ike iru elu ruo 13MHz+.

A na-eme ka Tungsten hexafluoride dị na plasma site n'ọrụ nke ubi eletriki, wee tinye ya na ikuku magnet. Atọm W yiri nke oyi na-efe efe ma na-ada n'ala n'okpuru ọrụ ike ndọda. Nwayọọ nwayọọ, a na-etinye atọm W n'ime oghere ndị gafere, ma mechaa jupụta oghere ndị zuru oke iji mepụta njikọ ígwè. Na mgbakwunye na itinye atọm W n'ime oghere ndị gafere, à ga-etinyekwa ha n'elu Wafer? Ee, n'ezie. N'ozuzu, ị nwere ike iji usoro W-CMP, nke bụ ihe anyị na-akpọ usoro igwe iji wepụ. Ọ dị ka iji broom ehicha ala mgbe nnukwu snow gasịrị. A na-ekpochapụ snow n'ala, mana snow dị n'oghere dị n'ala ga-anọgide. Ala, ihe dị ka otu.