Elektrọnikgas pụrụ ichebụ akụkụ dị mkpa nke gas pụrụ iche. Ha na-abanye ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ njikọ niile nke mmepụta semiconductor ma bụrụ ihe dị mkpa maka mmepụta nke ụlọ ọrụ eletrọniki dịka sekit agbakwunyere nke ukwuu, ngwaọrụ ngosi panel dị larịị, na sel anyanwụ.

Na teknụzụ semiconductor, a na-ejikarị gas nwere fluorine eme ihe. Ugbu a, n'ahịa gas eletrọnịkị zuru ụwa ọnụ, gas eletrọnịkị nwere fluorine bụ ihe dị ka 30% nke mkpokọta. Gas eletrọnịkị nwere fluorine bụ akụkụ dị mkpa nke gas eletrọnịkị pụrụ iche n'ọhịa nke ihe ọmụma eletrọnịkị. A na-ejikarị ha eme ihe dị ka ihe nhicha na ihe ndị na-eme ka ihe dị nro, a pụkwara iji ha mee ihe dị ka ihe ndị na-eme ka ihe dị nro, ihe ndị na-emepụta ihe nkiri, wdg. N'isiokwu a, onye edemede ga-akpọrọ gị ka ị ghọta gas ndị nwere fluorine.

A na-ejikarị gas nwere fluorine eme ihe ndị a

Nitrogen trifluoride (NF3): Gas eji ehicha ma wepụ ihe ndị a kpọchiri akpọchi, nke a na-ejikarị ehicha ụlọ mmeghachi omume na elu akụrụngwa.

Sọlfọ hexafluoride (SF6): Ihe na-eme ka fluoride dị ka ihe na-eme ka ihe ghara ịdị ọcha nke a na-eji eme ihe n'usoro itinye oxide na gas na-eme ka ihe ghara ịdị ọcha dị ka ihe na-eme ka ihe ghara ịdị ọcha dị.

Hydrogen fluoride (HF): A na-eji ya ewepụ oxides n'elu silicon ma na-eme ka e gwepịa silicon na ihe ndị ọzọ.

Nitrogen fluoride (NF): A na-eji ya ehicha ihe ndị dị ka silicon nitride (SiN) na aluminum nitride (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) natetrafluoromethane (CF4)A na-eji ya ehicha ihe ndị dị ka silicon fluoride na aluminum fluoride.

Agbanyeghị, gas ndị nwere fluorine nwere ụfọdụ ihe egwu, gụnyere nsí, ire ere, na ire ọkụ.

Nsí

Ụfọdụ gas nwere fluorine na-egbu egbu, dịka hydrogen fluoride (HF), nke uzuoku ya na-akpasu akpụkpọ ahụ na akụkụ iku ume nke ukwuu ma na-emerụ ahụike mmadụ ahụ.

Mmebi ire ere

Mmiri hydrogen fluoride na ụfọdụ fluoride na-emebi akpụkpọ ahụ, ha nwekwara ike imebi akpụkpọ ahụ, anya na akụkụ iku ume nke ọma.

Ọkụ ọkụ

Ụfọdụ fluoride na-ere ọkụ ma na-emeghachi omume na oxygen ma ọ bụ mmiri dị n'ikuku iji wepụta okpomọkụ dị ukwuu na gas ndị na-egbu egbu, nke nwere ike ibute ọkụ ma ọ bụ mgbawa.

Ihe egwu dị elu

Ụfọdụ gas ndị a na-akpọ fluorin na-agbawa agbawa n'okpuru nrụgide dị elu ma chọọ nlekọta pụrụ iche mgbe ejiri ha ma chekwaa ha.

Mmetụta na gburugburu ebe obibi

Gas ndị nwere fluorine nwere ndụ ikuku dị elu na uru GWP, nke nwere mmetụta mbibi na oyi akwa ozone ikuku ma nwee ike ibute okpomọọkụ ụwa na mmetọ gburugburu ebe obibi.

Ntinye gas n'ọrụ n'ọhịa ndị na-apụta dịka ngwa eletrọniki na-aga n'ihu na-amụbawanye, na-eweta nnukwu ọchịchọ ọhụrụ maka gas ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Dabere na nnukwu ikike mmepụta ọhụrụ nke ihe ndị bụ isi dịka semiconductor na panel ngosi na China n'ime afọ ole na ole sochirinụ, yana ọchịchọ siri ike maka nnọchi nke ihe kemịkalụ eletrọniki mbubata, ụlọ ọrụ gas eletrọniki nke obodo ga-ebute mmụba dị elu.