N'ime usoro mmepụta nke ụlọ ọrụ mmepụta wafer semiconductor nwere usoro mmepụta dị elu, a chọrọ ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ụdị gas iri ise dị iche iche. A na-ekewa gas n'ozuzu ya ka ọ bụrụ gas buru ibu na gas dị iche iche.gas pụrụ iche.

Iji gas eme ihe n'ime ụlọ ọrụ microelectronics na semiconductor Ojiji gas ekerewo òkè dị mkpa na usoro semiconductor, ọkachasị usoro semiconductor a na-ejikarị eme ihe n'ọtụtụ ụlọ ọrụ dị iche iche. Site na ULSI, TFT-LCD ruo na ụlọ ọrụ micro-electromechanical (MEMS) ugbu a, a na-eji usoro semiconductor eme ihe dị ka usoro mmepụta ngwaahịa, gụnyere ịcha akọrọ, oxidation, itinye ion, itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, wdg.

Dịka ọmụmaatụ, ọtụtụ mmadụ maara na e ji ájá mee iberibe, mana lee usoro niile e si emepụta iberibe, a chọrọ ihe ndị ọzọ, dị ka fotoresist, mmiri na-eme ka ọ dị ọcha, ihe e ji ebu ihe, gas pụrụ iche, wdg. Ihe ndị dị mkpa bụ nkwakọ ngwaahịa azụ, ihe ndị na-etinye ihe n'ime ya, ihe ndị na-eme ka ihe dị n'ime ya dị n'ime ya, ihe ndị na-eme ka ihe dị n'ime ya dị n'ime ya, ihe ndị e ji eme .... Gas pụrụ iche nke eletrọnịkị bụ ihe nke abụọ kachasị ukwuu n'ọnụ ahịa mmepụta semiconductor mgbe e jiri waya silicon mee ihe, ihe mkpuchi ihu na ihe ndị na-eme ka ihe dị n'ime ya dị n'ime ya.

Ịdị ọcha nke gas nwere mmetụta dị mkpa na arụmọrụ akụkụ na mmepụta ngwaahịa, nchekwa nke ọkọnọ gas metụtara ahụike nke ndị ọrụ na nchekwa nke ọrụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe. Gịnị mere ịdị ọcha nke gas ji enwe mmetụta dị ukwuu na usoro usoro na ndị ọrụ? Nke a abụghị ikwubiga okwu ókè, kama ọ bụ njirimara dị ize ndụ nke gas n'onwe ya na-ekpebi ya.

Nhazi nke gas nkịtị na ụlọ ọrụ semiconductor

Gas nkịtị

A na-akpọkwa gas nkịtị gas buru ibu: ọ na-ezo aka na gas ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke chọrọ ịdị ọcha dị ala karịa 5N yana nnukwu mmepụta na olu ahịa. Enwere ike kewaa ya na gas nkewa ikuku na gas sịntetik dịka usoro nkwadebe dị iche iche si dị. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), wdg.;

Gas Pụrụ Iche

Gas pụrụ iche na-ezo aka na gas ụlọ ọrụ mmepụta ihe nke a na-eji n'ọhịa ụfọdụ ma nwee ihe achọrọ pụrụ iche maka ịdị ọcha, ụdị, na ihe onwunwe.SiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… were gabazie.

Ụdị gas dị iche iche

Ụdị gas pụrụ iche: ihe na-emebi emebi, ihe na-egbu egbu, ihe na-ere ọkụ, ihe na-akwado ọkụ, ihe na-adịghị arụ ọrụ, wdg.
A na-ekewa gas semiconductor a na-ejikarị eme ihe dị ka ndị a:
(i) Na-emebi/na-egbu egbu:HCl、BF3、 WF6、 HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、BCl3…
(ii) A na-ere ọkụ: H2,CH4、SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Ihe na-ere ọkụ: O2、Cl2、N2O、NF3…
(iv) Enweghị ike: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、Ọ…

N'ime usoro mmepụta chip semiconductor, ihe dị ka ụdị gas pụrụ iche iri ise (a na-akpọ gas pụrụ iche) ka eji eme ihe na oxidation, mgbasa, nkwụnye, ịgba ntụtụ, fotolithography na usoro ndị ọzọ, usoro usoro niile gafere ọtụtụ narị. Dịka ọmụmaatụ, a na-eji PH3 na AsH3 dị ka isi iyi phosphorus na arsenic na usoro ntinye ion, gas ndị dabeere na F CF4, CHF3, SF6 na halogen gas CI2, BCI3, HBr na usoro ịgba ntụtụ, SiH4, NH3, N2O na usoro ihe nkiri itinye ntụtụ, F2/Kr/Ne, Kr/Ne na usoro fotolithography.

Site n'akụkụ ndị a dị n'elu, anyị nwere ike ịghọta na ọtụtụ gas semiconductor na-emerụ ahụ mmadụ ahụ. Karịsịa, ụfọdụ gas, dị ka SiH4, na-ere ọkụ n'onwe ha. Ọ bụrụhaala na ha na-agbapụta, ha ga-emeghachi omume ike na oxygen dị n'ikuku ma malite ịgba ọkụ; AsH3 na-egbu egbu nke ukwuu. Ntapu ọ bụla nwere ike imebi ndụ mmadụ, yabụ ihe achọrọ maka nchekwa nke nhazi sistemụ njikwa maka iji gas pụrụ iche dị oke elu.

Ndị na-enye semiconductors chọrọ ka gas dị ọcha nke ukwuu nwee "ogo atọ"

Ịdị ọcha nke gas

A na-egosipụtakarị ọdịnaya nke ikuku adịghị ọcha dị na gas dị ka pasentị nke ịdị ọcha gas, dịka 99.9999%. N'ikwu ya n'ozuzu, ihe achọrọ maka ịdị ọcha maka gas pụrụ iche eletrọnịkị ruru 5N-6N, a na-egosipụtakwa ya site na oke olu nke ọdịnaya ikuku adịghị ọcha ppm (akụkụ kwa nde), ppb (akụkụ kwa ijeri), na ppt (akụkụ kwa trillion). Mpaghara semiconductor eletrọnịkị nwere ihe kachasị mkpa maka ịdị ọcha na ịdị mma nke gas pụrụ iche, ịdị ọcha nke gas pụrụ iche eletrọnịkị karịrị 6N.

Akọrọ

A na-egosipụtakarị ọdịnaya nke mmiri dị n'ime gas, ma ọ bụ mmiri mmiri, n'ebe igirigi dị, dịka ebe igirigi dị n'ime ikuku -70℃.

Ịdị ọcha

Ọnụọgụ nke ihe ndị na-emetọ ikuku dị na gas, nke nha ya bụ µm, ka a na-egosi na ọnụọgụgụ ihe ndị dị na ya/M3. Maka ikuku a na-agbakọ, a na-egosipụtakarị ya na mg/m3 nke ihe ndị siri ike a na-apụghị izere ezere, nke gụnyere ọdịnaya mmanụ.