N'ime usoro mmepụta nke semiconductor wafer foundries nwere usoro mmepụta dịtụ elu, ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ ụdị gas dị iche iche 50 chọrọ. A na-ekewakarị gas na nnukwu gas nagas pụrụ iche.

Ngwa nke gas na microelectronics na ụlọ ọrụ semiconductor Ojiji nke gas na-arụ ọrụ dị mkpa mgbe niile na usoro semiconductor, karịsịa usoro semiconductor na-ejikarị na ụlọ ọrụ dị iche iche. Site na ULSI, TFT-LCD na ụlọ ọrụ micro-electromechanical (MEMS) dị ugbu a, a na-eji usoro semiconductor dị ka usoro mmepụta ngwaahịa, gụnyere akọrọ etching, oxidation, implantation ion, thin film deposition, wdg.

Dị ka ihe atụ, ọtụtụ ndị maara na ibe na-mere nke ájá, ma na-ele dum usoro nke mgbawa n'ichepụta, ihe ndị ọzọ ihe dị mkpa, dị ka photoresist, polishing mmiri mmiri, ezubere iche ihe, pụrụ iche gas, wdg dị oké mkpa. Nkwakọ ngwaahịa azụ na-achọkwa mkpụrụ, ndị na-etinye aka, okpokolo agba, ihe njikọ, wdg nke ihe dị iche iche. Gases pụrụ iche nke eletrọnịkị bụ ihe nke abụọ kachasị na ọnụ ahịa nrụpụta semiconductor ka silicon wafers, ihe mkpuchi na fotoresis na-esote.

Ịdị ọcha nke gas nwere mmetụta dị mkpa na arụmọrụ akụrụngwa na mmepụta ngwaahịa, na nchekwa nke gas na-emetụta ahụike nke ndị ọrụ na nchekwa nke ọrụ mmepụta ihe. Kedu ihe kpatara ịdị ọcha nke gas ji enwe mmetụta dị ukwuu na usoro usoro na ndị ọrụ? Nke a abụghị ikwubiga okwu ókè, ma kpebisiri ike site na njirimara dị ize ndụ nke gas n'onwe ya.

Nhazi nke gas nkịtị na ụlọ ọrụ semiconductor

Igwe ọkụ nkịtị

A na-akpọkwa gas nkịtị gas nnukwu gas: ọ na-ezo aka na gas mmepụta ihe na ihe dị ọcha dị ala karịa 5N na nnukwu mmepụta na ahịa ahịa. Enwere ike kewaa ya na gas nkewa ikuku na gas sịntetik dịka ụzọ nkwadebe dị iche iche si dị. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), wdg;

Ọpụrụiche Gas

Gas pụrụ iche na-ezo aka na gas mmepụta ihe nke a na-eji na mpaghara ụfọdụ ma nwee ihe pụrụ iche chọrọ maka ịdị ọcha, ụdị dị iche iche na ihe onwunwe. tumadiSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCLCF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… were gabazie.

Ụdị gas ose

Ụdị gas pụrụ iche: corrosive, toxic, flammable, combustion-support, inert, wdg.
A na-ekewa gas semiconductor a na-ejikarị dị ka ndị a:
(i) Na-emebi emebi/nsi:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Na-ere ọkụ: H2,CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Na-ere ọkụ: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr, Ọ…

N'ime usoro mgbawa nke semiconductor, a na-eji ihe dị ka ụdị 50 dị iche iche nke gas pụrụ iche (nke a na-akpọ gas pụrụ iche) na oxidation, diffusion, deposition, etching, injection, photolithography na usoro ndị ọzọ, na ngụkọta usoro usoro gafere ọtụtụ narị. Dịka ọmụmaatụ, a na-eji PH3 na AsH3 mee ihe dị ka phosphorus na arsenic na usoro ntinye nke ion, F-based gas CF4, CHF3, SF6 na halogen gas CI2, BCI3, HBr na-ejikarị eme ihe na usoro etching, SiH4, NH3, N2O in usoro ihe nkiri ntinye, F2/Kr/Ne, Kr/Ne na usoro fotolithography.

Site na akụkụ ndị dị n'elu, anyị nwere ike ịghọta na ọtụtụ gas semiconductor na-emerụ ahụ mmadụ. Karịsịa, ụfọdụ n'ime gas, dị ka SiH4, na-ere ọkụ n'onwe ya. Ọ bụrụhaala na ha na-agbapụta, ha ga-emeghachi omume n'ike na ikuku oxygen na ikuku wee malite ọkụ; na AsH3 na-egbu egbu nke ukwuu. Obere ntapu ọ bụla nwere ike imerụ ndụ ndị mmadụ ahụ, ya mere ihe ndị a chọrọ maka nchekwa nke nhazi usoro njikwa maka iji gas pụrụ iche dị elu.

Semiconductors chọrọ ikuku dị ọcha ka ọ nwee “ogo atọ”

Ịdị ọcha gas

A na-egosipụtakarị ọdịnaya nke ikuku adịghị ọcha na gas dị ka pasent nke ịdị ọcha gas, dị ka 99.9999%. N'ikwu okwu n'ozuzu, ịdị ọcha chọrọ maka gas pụrụ iche eletrọnịkị ruru 5N-6N, a na-egosipụtakwa ya site na nha nha nke ọdịnaya ikuku adịghị ọcha ppm (akụkụ kwa nde), ppb (akụkụ kwa ijeri), na ppt (akụkụ kwa puku ijeri). Ogige semiconductor eletrọnịkị nwere ihe kachasị mkpa maka ịdị ọcha na nkwụsi ike nke gas pụrụ iche, na ịdị ọcha nke gas pụrụ iche na-adịkarị karịa 6N.

Akọrọ

A na-egosipụtakarị ọdịnaya nke mmiri trace na gas, ma ọ bụ mmiri mmiri, na ebe igirigi, dị ka ebe igirigi ikuku -70 ℃.

Ịdị ọcha

Ọnụ ọgụgụ nke irighiri ihe ndị na-emerụ emerụ na gas, ihe ndị nwere oke nha nke µm, ka ekwuru na ole irighiri/M3. Maka ikuku abịakọrọ, a na-egosipụtakarị ya na mg / m3 nke ihe fọdụrụnụ siri ike na-apụghị izere ezere, nke gụnyere ọdịnaya mmanụ.