N'ime usoro na-emepụta nke semiconductor wafer na usoro mmepụta dị elu, ihe dị ka 50 gas dị iche iche achọrọ. A na-ekewa gas n'ozuzu ya na gas buru ibu nagas pụrụ iche.

Ngwa nke gas na MicroElecrornicronicricslọ ọrụ na semilelecrorrornicronicronicry ọrụ na semicdatawoctor na-eji gas arụ ọrụ dị mkpa na usoro semiconductor, karịchaa usoro mmekọrịta semiconductor mgbe niile n'ụlọ ọrụ dị iche iche. Site na Ulsi, TFT-LCD ka Micromechanical Electromechanical (Mams) dị ka usoro na-emepụta ngwaahịa, gụnyere ọkọlọtọ, oxidation, dị gịịrị mmanye ihe nkiri, wdg.

Iji maa atụ, ọtụtụ mmadụ maara na a na-eji ájá, ma na-ele anya na usoro nke mkpopụta mgbasa ozi mgbawa, ihe ndị ọzọ dị ka photoriasist, mmiri mmiri, wdg dị mkpa. Nchịkọta azụ azụ na-achọkwa mkpụrụ, ndị ọbịa, na-edukọ okpokolo, ihe dị iche iche. A na-ahụkarị ikuku pụrụ iche bụ ihe nke abụọ kachasị na semiconductor na-akwụ ụgwọ mgbe Silicon wafers, masks na-esochi na foto.

Onyinye gas nwere mmetụta dị egwu na arụmọrụ na ngwaahịa mkpụrụ, yana nchekwa nke ọkọnọ gas na nchekwa ọrụ nke ụlọ ọrụ. Gịnị kpatara ịdị ọcha nke gas nwere ụdị mmetụta a na ndị ọrụ na ndị ọrụ? Nke a abụghị ikwubiga okwu ókè, ma ekpebisi ike site na njirimara nke gas n'onwe ya.

Nhazi nke gas na ụlọ ọrụ semiconductor

Gas gas

A na-akpọ gas gas gas: ọ na-ezo aka gas na-eme ka ọ dị ọcha karịa 5n na nnukwu mmepụta na olu ire. Enwere ike ekewa ya na gas kewapụ ikuku na ikuku dị ka usoro nkwadebe dị iche iche. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), Argon (A2), wdg.;

Gas pụrụ iche

Party gas na-ezo aka na mmanụ ụlọ ọrụ na-ejikarị n'ubi dị iche iche ma nwee ihe pụrụ iche maka ịdị ọcha, dịgasị iche iche, na Njirimara. TumadiSih4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,Nh3, PCL3, sih2cl2, sihcl3,Nh3, Bcl3, Sif4, CLF3, C2F6, N2F6, N2O, F2, HF, HBR,Sf6… were gabazie.

Ụdị gas gas

Ofdị gas pụrụ iche: corrosive, na-egbu egbu, na-egbu egbu, na-akwado, inters, wdg.
A na-ejikarị mmanụ semiconductor dị ka ndị a:
(i) corrosive / na-egbu egbu:HCL, BF3, WF6, HFR, Sih2cl2, NH3, PH3, CL2,Bcl3...
(ii) na-egbu egbu: H2,Ch4,Sih4, PH3, Ash3, Sih2cl2, B2H6, C2H2, CH3F, CO ...
(III) Folly: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(IV) IV): N2,CF4, C2F6,C4f8,Sf6, Co2,Ne,Kr, Ọ ...

Na usoro semiconductor Chip, ihe dị ka 50 gas 50 dị iche iche (zoro aka na mbara ihu, mgbasa, ngụkọta nke gafere narị narị. Iji maa atụ, a na-eji PH3 na Ash3 na ebe a na-eme ihe nkiri na usoro ihe nkiri a, bụ Nh3, N2 / NR / NR / Ne, na usoro usoro foto.

Site n'akụkụ dị elu dị n'elu, anyị nwere ike ịghọta na ọtụtụ gas semitoxtor na-emerụ ahụ mmadụ. Karịsịa, ụfọdụ n'ime gas, dị ka Sah4, na-agbanye onwe ya. Ma ọ bụrụhaala na ha na-abọ mmiri, ha ga-emeghachi omume na ikuku ma bido ire ọkụ; na ash3 bụ oke egbu egbu. Ohere dị obere nwere ike ibute ndụ ndị mmadụ nsogbu, yabụ ihe achọrọ maka nchekwa nke njikwa usoro ihe maka iji gas pụrụ iche na-eme.

Mmemi Semiconductor chọrọ gas dị ọcha iji nwee "ihe atọ dị nkọ"

Gas ọcha

A na-egosipụtakarị ọdịnaya nke ọnọdụ adịghị mma na gas na-egosipụtakarị ka pasent nke ịdị ọcha nke gas, dị ka 99.9999%%. Na-ekwukarị, ịdị ọcha chọrọ ka ikuku pụrụ iche na-eru 5,n-67, nke PPB (akụkụ kwa ijeri). Ubi elektrọnik nwere ihe kachasị elu maka ịdị ọcha na ogo dị mma nke gas pụrụ iche, na ịdị ọcha nke gas pụrụ iche karịa afọ isii.

Nkocha

A na-egosipụta ọdịnaya nke mmiri dị na gas, ma ọ bụ mgbochi mmiri, na-egosipụtakarị na Dew Point, dịka ikuku ethmon-dewer -70 ℃.

Ina-ehicha

Ọnụ ọgụgụ nke irighiri ihe na gas, na-egosipụta ọtụtụ ihe nke μm, na-egosipụta ya na ole - M3. N'ihi na ikuku juru, na-egosipụtakarị na mg / m3 nke a na-agaghị agbanwe agbanwe, nke gụnyere ọdịnaya mmanụ.