Haịdrojiin kọloridbụ gas na-enweghị agba nwere isi na-esi ísì ọjọọ. A na-akpọ mmiri mmiri ya hydrochloric acid, nke a makwaara dị ka hydrochloric acid. Hydrogen chloride na-agbaze nke ukwuu na mmiri. Na 0°C, otu olu mmiri nwere ike ịgbaze ihe dị ka olu 500 nke hydrogen chloride.

O nwere ihe onwunwe na ihe ndị a:

1. Ịdị ọcha dị elu

Ịdị ọcha nke ọkwa eletrọnịkịhaịdọn kloridedị oke elu, na-abụkarị na ppm ma ọ bụ ọkwa dị ala, iji hụ na enweghị ihe ruru unyi ọ bụla na-abanye na usoro mmepụta semiconductor.

2. Enweghị ike

Ọ bụ gas na-anaghị arụ ọrụ nke ọma nke na-anaghị emeghachi omume na ọtụtụ ihe ndị ọzọ, nke dị oke mkpa iji gbochie mmetọ nke ihe na akụrụngwa semiconductor.

3. Nkwụsi ike dị elu

Ọkwa eletrọnikihaịdọn kloridena-enwekarị kemịkalụ siri ike iji hụ na nhazi semiconductor a pụrụ ịtụkwasị obi.

Na nhazi semiconductor, ngwa ndị bụ isi nke hydrogen chloride ọkwa eletrọnịkị gụnyere:

1. Nhicha na nkwadebe elu

Dịka onye na-ehicha elu nke ọma, ọkwa eletrọnikihaịdọn kloridea na-eji ewepụ ihe ndị na-adịghị ọcha na ihe ndị na-adịghị ọcha n'elu ihe mkpuchi ahụ iji hụ na akwa epitaxial ma ọ bụ ihe nkiri ahụ dị mma ma dị ọcha.

2. Enyemaka uto Epitaxial

A na-eji ya dị ka ihe na-agwọ elu n'ime usoro epitaxial, ọ na-enyere aka ime ka mma nke oyi akwa epitaxial dịkwuo mma, melite njikọ lattice, ma belata nhazi nke ntụpọ lattice.

3. Ọgwụgwọ tupu e mee ihe n'okpuru ala

Tupu nkwadebe nke ngwaọrụ semiconductor, ọkwa eletrọnikihaịdọn klorideenwere ike iji ya gwọọ elu ihe mkpuchi ahụ iji mepụta ntọala kwụsiri ike iji melite njikọta dị n'etiti oyi akwa epitaxial na ihe mkpuchi ahụ.

4. Ihe enyemaka nke itinye ego

N'ime usoro nke itinye anwụrụ ọkụ kemịkalụ (CVD) ma ọ bụ itinye anwụrụ ọkụ anụ ahụ (PVD), enwere ike iji hydrogen chloride nke eletrọniki dị ka ihe na-ebufe gas iji sonye na mmeghachi omume itinye ihe nke ihe semiconductor.

5. Onye na-ebufe gas-phase

Dịka ihe na-ebufe gas-phase, a na-ewebata ihe ndị ọzọ na-ebute gas n'ime ụlọ mmeghachi omume iji nyere aka gbanwee ọnụego nkwụnye na otu ihe ahụ.

Ngwaahịa ndị a na-eme ka ọ dị mfe inweta akwụkwọ eletrọnikihaịdọn klorideihe dị mkpa maka nhazi na teknụzụ semiconductor, nke nwere mmetụta dị mkpa na arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ikpeazụ.

Na mgbakwunye na ojiji ya na nhazi semiconductor, hydrogen chloride nke ọkwa eletrọniki nwere ike ịchọta ọtụtụ ojiji n'ebe ndị ọzọ, gụnyere: Nkwadebe nke ihe dị ọcha dị elu, Mkpụrụ Mmanụ, uto ihe Semiconductor, Lithography nke Vapor Phase, Nyocha Ihe, Nnyocha Kemịkalụ.

N'ozuzu, ọkwa eletrọnikihaịdọn kloridebụ gas dị ọcha nke nwere ọtụtụ ihe dị iche iche ma e wezụga mmepụta semiconductor.