Ọchịchọ Gas Elektrọnik Ga-abawanye Ka Mgbasawanye Semi-Fab Na-aga n'ihu

Akụkọ ọhụrụ sitere n'aka ụlọ ọrụ ndụmọdụ ihe TECCCET buru amụma na ọnụego uto kwa afọ nke afọ ise (CAGR) nke ahịa gas eletrọnịkị ga-arị elu ruo 6.4%, ma dọọ aka ná ntị na gas ndị dị mkpa dịka diborane na tungsten hexafluoride nwere ike inwe nsogbu ọkọnọ.

Amụma dị mma maka Gas Elektrọnik bụ n'ihi mmụba nke ụlọ ọrụ semiconductor, yana usoro echiche na ngwa 3D NAND nwere mmetụta kachasị na uto. Ka mmụba fab na-aga n'ihu na-abịa n'ịntanetị n'ime afọ ole na ole sochirinụ, a ga-achọ ihe ndị ọzọ na-enye gas eke iji gboo mkpa, na-eme ka arụmọrụ ahịa nke gas eke dịkwuo elu.

Ugbua, e nwere ndị isi isii na-emepụta chip na US na-eme atụmatụ ịmepụta ihe ọhụrụ: GlobalFoundries, Intel, Samsung, TSMC, Texas Instruments, na Micron Technology.

Agbanyeghị, nnyocha ahụ chọpụtara na oke nnyefe maka gas eletrọnịkị nwere ike ịpụta n'oge na-adịghị anya ka a na-atụ anya na mmụba ọchịchọ ga-aka nke ọkọnọ.

Ihe atụ gụnyeredibọne (B2H6)natungsten hexafluoride (WF6), ha abụọ dị oke mkpa maka imepụta ụdị ngwaọrụ semiconductor dị iche iche dịka logic ICs, DRAM, 3D NAND memory, flash memory, na ndị ọzọ. N'ihi ọrụ dị mkpa ha, a na-atụ anya na ọchịchọ ha ga-eto ngwa ngwa ka ihe ndị e ji emepụta ihe na-apụta ìhè.

Nnyocha nke ụlọ ọrụ TECECET nke dị na California chọpụtara na ụfọdụ ndị na-ebubata ngwa ahịa n'Eshia na-eji ohere a eme ihe iji mejupụta oghere ndị a na-enye ngwa ahịa n'ahịa US.

Nsogbu na ọkọnọ gas sitere na isi mmalite dị ugbu a na-emekwa ka mkpa ọ dị iweta ndị na-ebubata gas ọhụrụ n'ahịa dịkwuo elu. Dịka ọmụmaatụ,NeonNdị na-ebubata ngwa ahịa na Yukren anaghịzi arụ ọrụ ugbu a n'ihi agha Rọshịa ma nwee ike ịpụ apụ kpamkpam. Nke a emeela ka nnukwu mgbochi dị na ya na mba ahụ.neonusoro ọkọnọ, nke agaghị ebelata ruo mgbe isi mmalite ọkọnọ ọhụrụ ga-abịa n'ịntanetị na mpaghara ndị ọzọ.

"Heliọmọkọnọ dịkwa n'ihe egwu dị ukwuu. Mbufe nke ụlọ ahịa na akụrụngwa helium site na BLM na US nwere ike imebi ọkọnọ ahụ ebe ọ nwere ike ịdị mkpa ka a napụ akụrụngwa na-anọghị n'ịntanetị maka mmezi na nkwalite," ka Jonas Sundqvist, onye nyocha dị elu na TECHCET gbakwụnyere, na-ekwu maka ihe gara aga. E nwere enweghị nke ọhụrụ.heliọmikike ịbanye n'ahịa kwa afọ.

Na mgbakwunye, TECECET na-atụ anya ugbu a na enwere ike inwe ụkọ nkexenon, krypton, nitrogen trifluoride (NF3) na WF6 n'ime afọ ndị na-abịa ma ọ bụrụ na amụbaghị ikike ahụ.