boron trichloride (BCl3)bụ ngwakọta inorganic nke a na-ejikarị na etching akọrọ na usoro ikuku vapor (CVD) na nrụpụta semiconductor. Ọ bụ gas na-enweghị ụcha nke nwere isi na-esi ísì ụtọ n'ime ụlọ ma na-enwe mmetụta maka ikuku iru mmiri n'ihi na ọ na-emepụta hydrochloric acid na boric acid.

Ngwa nke boron Trichloride

N'ime ụlọ ọrụ semiconductor,boron trichloridea na-ejikarị eme ihe maka etching akọrọ nke aluminom na dị ka dopant iji mepụta mpaghara ụdị P na silicon wafers. Enwere ike iji ya na-etch ihe dị ka GaAs, Si, AlN, na dị ka isi iyi boron na ụfọdụ ngwa ngwa. Na mgbakwunye, a na-eji boron trichloride eme ihe n'ọtụtụ ebe na nhazi igwe, ụlọ ọrụ iko, nyocha kemịkalụ na nyocha ụlọ nyocha.

Nchekwa nke boron Trichloride

boron trichloridena-emebi emebi ma na-egbu egbu ma nwee ike imebi anya na akpụkpọ ahụ. Ọ na-eme ka ikuku dị iru mmiri na-ahapụ ikuku hydrogen chloride na-egbu egbu. Ya mere, ọ dị mkpa ka emee usoro nchekwa kwesịrị ekwesị mgbe ejizi yaboron trichloride, gụnyere iyi uwe nchebe, enyo na akụrụngwa nchebe iku ume, na ịrụ ọrụ na gburugburu ikuku ikuku.