Gas dị ọcha nke ukwuu (UHP) bụ isi iyi ndụ nke ụlọ ọrụ semiconductor. Ka ọchịchọ na nsogbu ndị a na-enwetụbeghị mbụ na usoro ọkọnọ zuru ụwa ọnụ na-eme ka ọnụ ahịa gas dị oke elu na-arị elu, nhazi semiconductor ọhụrụ na omume mmepụta na-amụba ọkwa njikwa mmetọ dị mkpa. Maka ndị na-emepụta semiconductor, inwe ike ijide n'aka na ịdị ọcha nke gas UHP dị mkpa karịa mgbe ọ bụla.

Gas Dị Ọcha Dị Elu (UHP) Dị Oke Mkpa n'Imepụta Semiconductor nke Oge A

Otu n'ime ọrụ kachasị mkpa nke gas UHP bụ inertization: A na-eji gas UHP enye ikuku nchebe gburugburu ihe ndị mejupụtara semiconductor, si otú a na-echebe ha pụọ ​​​​na mmetụta ọjọọ nke mmiri, oxygen na ihe ndị ọzọ na-emerụ emerụ na ikuku. Agbanyeghị, inertization bụ naanị otu n'ime ọtụtụ ọrụ dị iche iche nke gas na-arụ na ụlọ ọrụ semiconductor. Site na gas plasma bụ isi ruo gas reactive nke ejiri na-etching na annealing, a na-eji gas nrụgide dị elu maka ọtụtụ ebumnuche dị iche iche ma dị mkpa n'ofe usoro ọkọnọ semiconductor.

Ụfọdụ gas "isi" dị na ụlọ ọrụ semiconductor gụnyerenitrogen(eji ya dị ka ihe nhicha nkịtị na gas na-anaghị arụ ọrụ),argọn(a na-eji ya dị ka gas plasma bụ isi na mmeghachi omume etching na deposition),heliọm(eji ya dị ka gas na-anaghị arụ ọrụ nke nwere ihe pụrụ iche maka nnyefe okpomọkụ) nahaịdọn(na-arụ ọrụ dị iche iche na annealing, deposition, epitaxy na plasma cleaning).

Dịka teknụzụ semiconductor si agbanwe ma gbanwee, otu a ka gas ndị e ji arụ ọrụ n'usoro mmepụta si agbanwe. Taa, ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor na-eji ọtụtụ gas dị iche iche, site na gas ndị dị mma dịka gas ndị a.kryptonnaneonnye ụdị ihe ndị na-emeghachi omume dịka nitrogen trifluoride (NF3) na tungsten hexafluoride (WF 6).

Ọchịchọ maka ịdị ọcha na-eto eto

Kemgbe e mepụtara obere chip azụmaahịa mbụ, ụwa ahụla mmụba dị egwu na arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor. N'ime afọ ise gara aga, otu n'ime ụzọ kachasị mma isi nweta ụdị mmezi arụmọrụ a bụ site na "ịhazi nha": ibelata akụkụ dị mkpa nke usoro nhazi chip dị ugbu a iji tinye transistors karịa n'ime oghere enyere. Na mgbakwunye na nke a, mmepe nke usoro nhazi chip ọhụrụ na iji ihe ndị dị elu emepụtala mmụba na arụmọrụ ngwaọrụ.

Taa, akụkụ dị mkpa nke semiconductor kachasị elu dị obere ugbu a nke na nhazi nha abụghịzi ụzọ dị mma isi melite arụmọrụ ngwaọrụ. Kama nke ahụ, ndị nchọpụta semiconductor na-achọ ngwọta n'ụdị ihe ọhụrụ na usoro nhazi chip 3D.

Ọtụtụ iri afọ nke imegharị ihe n'enweghị ike pụtara na ngwaọrụ semiconductor nke oge a dị ike karịa obere chips nke ochie - mana ha dịkwa ike karịa. Mbido nke teknụzụ mmepụta wafer 300mm emeela ka ọkwa njikwa adịghị ọcha dị mkpa maka imepụta semiconductor dịkwuo elu. Ọbụna obere mmetọ dị na usoro mmepụta (karịsịa gas ndị a na-adịghị ahụkebe ma ọ bụ ndị na-adịghị arụ ọrụ) nwere ike ibute ọdịda akụrụngwa dị egwu - yabụ ịdị ọcha gas dị mkpa ugbu a karịa mgbe ọ bụla.

Maka ụlọ ọrụ mmepụta semiconductor nkịtị, gas dị ọcha nke ukwuu bụlarị mmefu kachasị ukwuu ma e wezụga silicon n'onwe ya. A na-atụ anya na ọnụ ahịa ndị a ga-abawanye naanị ka ọchịchọ maka semiconductor na-arị elu ruo n'ọkwa ọhụrụ. Ihe ndị mere na Europe emeela ka ahịa gas eke dị oke nrụgide nke ukwuu ghara ịdị irè. Ukraine bụ otu n'ime ndị na-ebupụ ihe dị ọcha nke ukwuu n'ụwa.neonihe ịrịba ama; Mwakpo nke Rọshịa pụtara na a na-egbochi nnyefe nke gas dị ụkọ. Nke a butere ụkọ na ọnụ ahịa dị elu nke gas ndị ọzọ dị mma dịkakryptonnaxenon.