Igwe ọkụ dị oke ọcha (UHP) bụ ọbara ndụ nke ụlọ ọrụ semiconductor. Dị ka ọchịchọ a na-enwetụbeghị ụdị ya na nkwụsị nke ụdọ ọkọnọ zuru ụwa ọnụ na-ebuli ọnụ ahịa gas nrụgide dị elu, imepụta semiconductor ọhụrụ na usoro mmepụta ihe na-abawanye ọkwa nke njikwa mmetọ dị mkpa. Maka ndị na-emepụta semiconductor, inwe ike hụ na ịdị ọcha nke UHP gas dị mkpa karịa mgbe ọ bụla.

Gases Ultra High Purity (UHP) dị oke egwu na nrụpụta Semiconductor ọgbara ọhụrụ.

Otu n'ime isi ngwa nke UHP gas bụ inertization: A na-eji UHP gas na-enye ikuku nchebe gburugburu akụkụ semiconductor, si otú ahụ na-echebe ha pụọ ​​​​na mmetụta ọjọọ nke mmiri, oxygen na ihe ndị ọzọ na-emerụ emerụ na ikuku. Agbanyeghị, inertization bụ naanị otu n'ime ọtụtụ ọrụ dị iche iche gas na-arụ na ụlọ ọrụ semiconductor. Site na gas ndị bụ isi na plasma ruo na gas na-arụ ọrụ nke a na-eji na etching na annealing, a na-eji gas nrụgide ultra-high maka ọtụtụ ebumnuche dị iche iche ma dị mkpa n'oge usoro ọkọnọ semiconductor.

Ụfọdụ n'ime ikuku "isi" dị na ụlọ ọrụ semiconductor gụnyerenitrogen(a na-eji dị ka mkpocha n'ozuzu na gas inert),argon(a na-eji dị ka gas plasma bụ isi na mmeghachi omume etching na nkwụnye ego),helium(eji dị ka gas inert nwere ihe ndị na-enye okpomọkụ pụrụ iche) nahydrogen(na-arụ ọrụ dị iche iche na mgbakasị ahụ, ntinye, epitaxy na nhicha plasma).

Dị ka nkà na ụzụ semiconductor si malite ma gbanwee, otú ahụ ka gas ndị a na-eji na-emepụta ihe. Taa, ụlọ ọrụ na-emepụta semiconductor na-eji ọtụtụ gas dị iche iche, site na gas dị mma dị kakryptonnaneonka ụdị mmeghachi omume dị ka nitrogen trifluoride (NF 3) na tungsten hexafluoride (WF 6).

Ọchịchọ na-eto eto maka ịdị ọcha

Kemgbe e mepụtara microchip azụmahịa mbụ, ụwa ahụla mmụba dị ịtụnanya dị nso na arụmọrụ nke ngwaọrụ semiconductor. N'ime afọ ise gara aga, otu n'ime ụzọ kachasị mma isi nweta ụdị nkwalite arụmọrụ a bụ site na "nha nha": ibelata akụkụ ndị dị mkpa nke ụlọ mgbawa dị ugbu a iji kpanyekwu transistors n'ime oghere enyere. Na mgbakwunye na nke a, mmepe nke ụlọ mgbawa ọhụrụ na iji ihe eji eme ihe na-emepụta ihe na-arụ ọrụ ngwaọrụ.

Taa, akụkụ dị oke egwu nke semiconductors dị ntakịrị ugbu a nke na nha nha abụghịzi ụzọ nwere ike isi melite arụmọrụ ngwaọrụ. Kama, ndị na-eme nchọpụta semiconductor na-achọ ihe ngwọta n'ụdị nke akwụkwọ akụkọ na 3D mgbawa architectures.

Ọtụtụ iri afọ nke enweghị ike imegharị ihe pụtara na ngwaọrụ semiconductor nke taa dị ike karịa microchips nke ochie - mana ha na-esikwa ike karịa. Ọbịbịa nke teknụzụ nrụpụta wafer 300mm abawanyela ọkwa njikwa adịghị ọcha achọrọ maka nrụpụta semiconductor. Ọbụna obere mmetọ dị na usoro mmepụta (karịsịa obere gas ma ọ bụ ikuku na-adịghị ahụkebe) nwere ike ibute ọdịda akụrụngwa na-akpata ọdachi - ya mere ịdị ọcha gas dị ugbu a karịa mgbe ọ bụla.

Maka ụlọ ọrụ nrụpụta semiconductor na-ahụkarị, gas na-adị ọcha nke ukwuu abụrụlarị ihe kacha akwụ ụgwọ mgbe silicon n'onwe ya. A na-atụ anya na ọnụ ahịa ndị a ga-abawanye ka ọchịchọ nke semiconductor na-arị elu ruo elu ọhụrụ. Ihe omume na Europe akpatala ọgba aghara ọzọ n'ahịa ikuku ikuku na-esiwanye ike. Ukraine bụ otu n'ime ụwa kasị ibu mbupụ nke elu-ọchaneonakara; Mwakpo Russia pụtara na a na-egbochi inyefe gas dị ụkọ. Nke a kpatara ụkọ na ọnụ ahịa gas ndị ọzọ dị mma dị kakryptonnaxenon.