Ozi anyị kwesịrị ịdị na-ebugharị ka ọ bụrụ onye na-eweta ihe ọhụrụ na ụdị nkwukọrịta dị elu na nke na-eweta ihe dị mma na-enye anyị ọrụ na-ere ahịa.
Ebumnuche anyị kwesịrị ịdị ka ị bụrụ onye na-eweta ihe ọhụrụ nke teknụzụ dị elu na ụdị nkwukọrịta site na iji nweta ego na ụdịCarbon tetrafluiride, China cf4 gas, Ya mere, anyị na-aga n'ihu na-arụ ọrụ. Anyị, na-elekwasị anya n'okike dị elu, ma mara ịdị mkpa nchebe gburugburu ebe obibi, ọtụtụ ngwa ahịa ahụ bụ mmetọ na-enweghị mmerụ, ebe obibi ndị dị na gburugburu, na gburugburu ebe obibi na gburugburu ebe obibi. Anyị emelitere katalọgụ anyị, nke na-ewebata nzukọ anyị. Nzuzo ma na-ekpuchi ihe kachasị mkpa anyị na-enye ugbu a, ị nwekwara ike ileta web-saịtị anyị, nke gụnyere akara ngwaahịa anyị kachasị ọhụrụ. Anyị na-atụ anya ijikọ njikọ ụlọ ọrụ anyị.
Nkowa | 99.999% |
Oxygen + argon | ≤1pm |
Nitrogen | ≤4 ppm |
Mmiri (h2o) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
Sf6 | ≤1 ppm |
Halocarbynes | ≤1 ppm |
Ngụkọta adịghị adị | ≤10 ppm |
Carbon Tetraflioride bụ hydrocarbon na-acha odo odo na-ejikọ ọgwụ mmiri CF4. Enwere ike a na-ahụta ya dị ka hydrocarbon hydrocated, halogenated methane, otluooocarbon, ma ọ bụ dị ka ogige inorganic. Carbon Tetraflioride bụ mmanụ na-enweghị isi na ikuku na-adịghị ọcha, na-agbanye mmiri, soluble na benzene na chloroform. Kwụsiri ike n'okpuru okpomọkụ na nrụgide, zere ndị oxidant siri ike, ihe na-egbu egbu ma ọ bụ ihe na-enye nri. Gas na-abụghị nke a na-anyụ, nrụgide nke akpa ahụ ga-abawanye mgbe ekpughere ya ọkụ, enwere ihe ize ndụ nke ịgbagọ na mgbawa. Ọ bụ kemịkal na-enweghị ọkụ. Naanị mmiri amonia-sodium metal nwere ike ịrụ ọrụ na okpomọkụ ụlọ. Carbon Tetraflioride bụ gas nke na-eme ka griin ha haus sie ike. Ọ bụ nnọọ ụlọsi ike, nwere ike nọrọ na ikuku ruo ogologo oge, ma gas gas green siri ike. A na-eji carbon tetrafluoride na usoro plasma na-eme ihe dị iche iche. A na-ejikwa ya dị ka gas laser, a na-ejikwa friji dị ala, soloncents, lubricants, ihe ndị na-egbochi ya maka ndị nchọpụta na-eme infrared. Ọ bụ plasma ji plasma etchlings na ụlọ ọrụ microlelecry. Ọ bụ ngwakọta nke TetraFooooromethane dị elu na Tetraultuomtane dị elu gas na oxygen dị elu. Enwere ike iji ya na Silicon, silicon dioxide, silicon nitra, na iko phosphosical. A na-ejikwa eme ihe nkiri dị ka Tungsten na Tungsten n'ọtụtụ ebe nhicha, teknụzụ laser, ihicha dị ala, na ihe na-emepụta sekit. Ejiri maka teknụzụ dị ala na plasma akọrọ na-acha uhie uhie maka sekit. Clearcheutions maka nchekwa: ụlọ ahịa na ụlọ nkwakọba ihe dị jụụ. Zere ikpo ọkụ na isi iyi egwu. Ọdịda ahụ ekwesịghị gafere 30 Celsius C. Ekwesịrị ịchekwa ya iche site na mfe (na-ekwekọ) na-agbanwe agbanwe na oxida, ma zere nchekwa a gwakọtara agwakọta. A ga-enwerịrị mpaghara nchekwa ihe mberede ngwa ngwa.
① crifter:
A na-eji TetraForuoomethane mgbe ụfọdụ dị ka obere okpochibidoro.
② etching:
A na-eji ya na igwe eletrik naanị ma ọ bụ na oxygen dị ka plasma dị ka plasma si na Silicon dioxide, silicon dioride.
Ihe emeputara ohuru | Carbon tetrafluoride cf4 | ||
Nha ngwugwu | 40lt cylinder | 5lt cylinder | |
Na-ejupụta AT / Cyl | 30kgs | 38kgs | |
Qty butere na 20'Container | 250 cyls | 250 cyls | |
Ibu AT | 7,5 tọn | 0,5 tọn | |
Cylinder tare | 50kgs | 55kgs | |
Valvu | CGA 580 |
Ịdị ọcha, ụlọ ọrụ kachasị ọhụrụ;
Onye na-emepụta akwụkwọ Asambodo;
Iwepụ iwe;
Usoro nyocha nyocha nke Lively maka njikwa dị mma na nzọụkwụ ọ bụla;
Chọrọ ka ọ bụrụ ihe na-edozi ahụ na-edozi ahụ maka idozi catlinder tupu ị na-ejuputa;Ozi anyị kwesịrị ịdị na-ebugharị ka ọ bụrụ onye na-eweta ihe ọhụrụ na ụdị nkwukọrịta dị elu na nke na-eweta ihe dị mma na-enye anyị ọrụ na-ere ahịa.
2019 ezigbo mmaChina cf4 gas, Carbon tetrafluiride, Ya mere, anyị na-aga n'ihu na-arụ ọrụ. Anyị, na-elekwasị anya n'okike dị elu, ma mara ịdị mkpa nchebe gburugburu ebe obibi, ọtụtụ ngwa ahịa ahụ bụ mmetọ na-enweghị mmerụ, ebe obibi ndị dị na gburugburu, na gburugburu ebe obibi na gburugburu ebe obibi. Anyị emelitere katalọgụ anyị, nke na-ewebata nzukọ anyị. Nzuzo ma na-ekpuchi ihe kachasị mkpa anyị na-enye ugbu a, ị nwekwara ike ileta web-saịtị anyị, nke gụnyere akara ngwaahịa anyị kachasị ọhụrụ. Anyị na-atụ anya ijikọ njikọ ụlọ ọrụ anyị.